近日，中色东方自主研发的专利技术“一种靶材的制备方法”（201611229097.9）凭借其创新性、实用性和显著的技术突破，成功斩获行业权威奖项“2025年度有色金属加工行业优秀专利奖”。此项荣誉的获得不仅是对公司科研实力的高度认可，更是在新材料领域持续创新的有力证明！
核心技术突破，彰显创新实力，靶材作为现代电子产业的核心材料之一，其质量直接关系到器件性能。此次获奖的专利技术，是公司研发团队历经多年技术攻关的结晶。本专利针对钽靶材或钽合金靶材的制备，解决了晶圆尺寸增大和工艺制程变小对钽靶坯织构提出的更严苛要求的问题。通过引入工装和快速升温热处理工艺，使得靶材织构分布均匀、织构类型和比例可控。靶材制备方法对于半导体芯片生产过程中的物理气相沉积（PVD）工艺具有重要意义，提高了靶材的性能和应用范围，对半导体行业的发展具有积极的影响。本专利技术的突破，不仅填补了国内相关技术空白，更推动了国产高端靶材的自主可控进程，为产业链安全提供了坚实保障。
荣誉属于过去，奋斗成就未来，中色东方将以此次获奖为契机，持续深耕新材料技术研发，以创新驱动发展，为客户提供更优质的产品与服务，助力中国智造迈向全球高端市场。
（供稿人：公司科技质量部 张静）配资股服务
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